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便攜式半導體材料氣體檢測器XP-703DⅢ
檢測對象
H2丨AsH3丨B2H6丨SiH4丨PH3
檢測濃度
1.0ppm丨0.5ppm丨0.2ppm丨0.5ppm丨0.3ppm
檢測原理
熱線型半導體式
采樣方式
自動吸引式
應用行業
半導體制造
01.便攜式氣體檢測器產品特點
小型·輕量
可以檢查非常微量的氣體泄漏
適合氫氣相關設備的安全防護
搭載的泵有自動停止功能
搭載[自動氣體排氣模式]功能
保護等級約為IP22（JIS C 0920）※安裝皮套時
02.便攜式氣體檢測器產品用途
半導體工廠/石油化學工廠等
在使用半導體材料氣體/毒性氣體的現場進行泄漏檢測
03.便攜式半導體材料氣體檢測器XP-703DⅢ產品參數
半導體行業廢氣主要為有機廢氣和酸堿廢氣兩類。
有機類有：非甲烷總烴、氮氧化物、二氧化硫等；酸堿類有：氨氣、硫酸霧、氟化物、氯化物、氯氣等。在半導體行業中造成環境污染的有害氣體，主要來源于芯片或者是線路板生產的清洗、均膠、去膠、刻蝕、顯影過程中。
半導體行業主要是元器件組裝焊接過程中對大氣的污染和電路板等器件清洗等表面處理過程中因使用一些化學藥劑（如硫酸、鹽酸、氟氯化碳、四氯化碳、三氯乙烷及其他有機鹵化物）揮發造成對大氣環境的污染，以及整機裝配過程中產生的機械噪聲和少量粉塵也會造成環境污染，這些污染氣體會造成人群慢性或急性中毒。
半導體常見有毒氣體：
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